一、產(chǎn)品概覽：工業(yè)與科研的“微觀之眼"
作為西班牙Sensofar公司推出的新一代非接觸式3D表面光學(xué)輪廓儀，S lynx系列以“三合一測量技術(shù)"為核心，融合白光干涉、共聚焦成像與AI多焦面疊加三大功能，覆蓋從納米級光滑表面到微米級粗糙結(jié)構(gòu)的全尺度測量需求。其緊湊設(shè)計(jì)（整機(jī)尺寸420mm×380mm×580mm，重量不足35kg）與模塊化結(jié)構(gòu)，可靈活部署于潔凈車間、實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)線，成為半導(dǎo)體、汽車制造、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的“形貌分析利器"。Sensofar S lynx 光學(xué)輪廓儀表面測量新維度Sensofar S lynx 光學(xué)輪廓儀表面測量新維度

二、產(chǎn)品性能：技術(shù)突破定義

1. 三重測量技術(shù)協(xié)同

• 白光干涉模式：針對Ra<10nm的超光滑表面（如半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)鏡片），垂直分辨率達(dá)0.1nm，可精準(zhǔn)捕捉納米級缺陷與形貌變化。

• 共聚焦成像模式：通過針孔濾波排除離焦光干擾，橫向分辨率達(dá)0.09μm，適用于金屬加工件、陶瓷涂層等中等粗糙度表面的紋理與形貌復(fù)合分析。

• AI多焦面疊加技術(shù)：針對Ra>1μm的粗糙表面（如3D打印構(gòu)件、地質(zhì)樣本），通過深度學(xué)習(xí)算法融合多焦面圖像，在10mm垂直行程內(nèi)保持0.5μm重復(fù)性精度，測量效率較傳統(tǒng)方法提升3倍。

2. 動(dòng)態(tài)范圍與效率平衡

• 電動(dòng)XY平臺(tái)行程達(dá)125mm×75mm，支持高精度傾斜調(diào)整（角度分辨率0.001°），可自動(dòng)完成樣品定位與調(diào)平。

• 傳感器頭內(nèi)嵌計(jì)算單元，數(shù)據(jù)預(yù)處理效率提升40%，搭配SensoVIEW 2.0軟件，實(shí)現(xiàn)ISO 25178、ASA S2等20余種國際標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)計(jì)算，并支持?jǐn)?shù)字孿生映射與MES/ERP系統(tǒng)無縫對接。

三、核心參數(shù)與技術(shù)規(guī)格

四、用材與工藝：工業(yè)級耐用性保障

• 光學(xué)系統(tǒng)：采用德國肖特光學(xué)玻璃與日本濱松LED光源，確保光路穩(wěn)定性與色彩還原度。

• 機(jī)械結(jié)構(gòu)：航空級鋁合金框架搭配大理石基座，抗振動(dòng)干擾能力提升50%，適應(yīng)復(fù)雜工業(yè)環(huán)境。

• 防護(hù)設(shè)計(jì)：IP54防護(hù)等級，防塵防水濺，關(guān)鍵部件（如物鏡、電動(dòng)平臺(tái)）采用密封設(shè)計(jì)，延長使用壽命。

五、應(yīng)用場景：跨行業(yè)解決方案

1. 半導(dǎo)體制造：檢測晶圓表面亞表面損傷層厚度，評估刻蝕均勻性與側(cè)壁粗糙度。

2. 新能源電池：非接觸式測量極片涂層厚度一致性，避免探針劃傷風(fēng)險(xiǎn)，支持米級長度在線全檢。

3. 生物醫(yī)學(xué)：分析人工關(guān)節(jié)羥基磷灰石涂層的孔隙率與結(jié)晶度，預(yù)測植入物壽命。

4. 汽車工程：測量發(fā)動(dòng)機(jī)缸體、渦輪葉片的表面粗糙度，優(yōu)化摩擦性能與耐久性。

六、包裝與運(yùn)輸：安全無憂的交付體驗(yàn)

• 定制化包裝：采用高密度泡沫內(nèi)襯與防震木箱，通過ISTA 3A運(yùn)輸測試標(biāo)準(zhǔn)，確保設(shè)備在長途運(yùn)輸中免受沖擊。

• 配件清單：包含標(biāo)準(zhǔn)物鏡套裝（5×/10×/50×）、校準(zhǔn)樣塊、SensoSCAN軟件授權(quán)、操作手冊與快速指南。

七、使用說明：從開箱到測量的全流程支持

1. 安裝調(diào)試：由Sensofar認(rèn)證工程師提供現(xiàn)場安裝與光路校準(zhǔn)服務(wù)，確保設(shè)備達(dá)到出廠精度標(biāo)準(zhǔn)。

2. 操作培訓(xùn)：通過線上課程與線下實(shí)操結(jié)合，覆蓋軟件參數(shù)設(shè)置、測量模式選擇、數(shù)據(jù)分析報(bào)告生成等全流程。

3. 維護(hù)指南：提供每日清潔、季度校準(zhǔn)、年度保養(yǎng)的標(biāo)準(zhǔn)化流程，延長設(shè)備使用壽命。

結(jié)語：S lynx——讓微觀世界觸手可及
從晶圓廠的納米級缺陷檢測到汽車生產(chǎn)線的表面質(zhì)量管控，Sensofar S lynx以“精準(zhǔn)、高效、智能"重新定義表面測量標(biāo)準(zhǔn)。其三合一技術(shù)架構(gòu)與工業(yè)級設(shè)計(jì)，不僅滿足當(dāng)前制造需求，更通過數(shù)字孿生與AI集成，為工業(yè)4.0時(shí)代的智能化轉(zhuǎn)型提供核心數(shù)據(jù)支撐。選擇S lynx，即是選擇一個(gè)更精密、更可靠的微觀世界探索伙伴。Sensofar S lynx 光學(xué)輪廓儀表面測量新維度