產(chǎn)品性能與參數(shù)：

ZYGO白光干涉光學(xué)輪廓儀多維表面測(cè)量方案 ZYGO白光干涉光學(xué)輪廓儀是一款基于白光干涉原理的非接觸式表面測(cè)量設(shè)備，適用于多種表面形貌和紋理分析。其核心特點(diǎn)包括：

• 多模式測(cè)量：支持白光干涉、共聚焦、相位差干涉等多種測(cè)量模式，適用于從光滑到粗糙的各類表面。

• 高精度測(cè)量：具備納米級(jí)分辨率，適用于高精度表面形貌測(cè)量。

• 大視場(chǎng)與高分辨率：支持大視場(chǎng)測(cè)量，適用于復(fù)雜表面結(jié)構(gòu)的分析。

• 軟件功能：配備用戶友好的操作界面，支持?jǐn)?shù)據(jù)處理和分析。

產(chǎn)品細(xì)節(jié)與結(jié)構(gòu)：

• 光學(xué)系統(tǒng)：配備多種物鏡（如5X、50X、150X）和干涉物鏡，支持不同放大倍數(shù)和視場(chǎng)范圍。

• 測(cè)量平臺(tái)：支持多軸掃描和高精度定位，適用于復(fù)雜樣品的測(cè)量。

• 軟件支持：提供用戶友好的操作界面，支持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)出和報(bào)告生成。

型號(hào)與用途：

• 型號(hào)：如ZeGage、NewView、Nexview等，適用于不同應(yīng)用場(chǎng)景。

• 用途：廣泛應(yīng)用于光學(xué)、半導(dǎo)體、材料科學(xué)、精密機(jī)械等領(lǐng)域，用于表面形貌、粗糙度、薄膜厚度等參數(shù)的測(cè)量。

使用說明：

• 操作流程：通過軟件界面進(jìn)行樣品定位、參數(shù)設(shè)置、自動(dòng)掃描和數(shù)據(jù)處理。

• 維護(hù)與保養(yǎng)：定期校準(zhǔn)和維護(hù)設(shè)備，確保長期穩(wěn)定運(yùn)行。

總結(jié)：

ZYGO白光干涉光學(xué)輪廓儀是一款功能全面、性能穩(wěn)定的表面測(cè)量設(shè)備，適用于多種科研和工業(yè)應(yīng)用，是表面形貌測(cè)量中的理想選擇。

ZYGO白光干涉光學(xué)輪廓儀多維表面測(cè)量方案