產(chǎn)品細節(jié)
Sensofar S neox三維共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀采用模塊化設(shè)計，集成共聚焦、白光干涉、相位差干涉及AI多焦面疊加四種測量模式。傳感器頭內(nèi)置高速高分辨率黑白CCD攝像頭（2442×2048像素，60fps）與彩色攝像頭，支持實時彩色成像與高對比度深度編碼。設(shè)備配備6位電動鼻輪，可快速切換物鏡（5×、20×、100×共聚焦物鏡，10×、20×干涉物鏡），適應(yīng)不同測量需求。Sensofar三維共聚焦輪廓儀多技術(shù)表面測量

產(chǎn)品性能

• 速度：數(shù)據(jù)采集速度達180幀/秒，典型三維圖像獲取僅需3秒，較傳統(tǒng)設(shè)備效率提升5倍。

• 精度：共聚焦模式橫向分辨率0.10μm，Z軸重復(fù)性達納米級；白光干涉模式縱向分辨率穩(wěn)定在納米級，支持粗糙表面測量。

• 穩(wěn)定性：無運動部件設(shè)計減少機械誤差，LED光源壽命長達50,000小時，避免激光散斑干擾。

用材與參數(shù)表

型號與用途

• 型號：S neox

• 應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體晶圓平整度檢測、微電子器件表面形貌分析、精密加工刀具切削刃測量、醫(yī)療植入物表面紋理研究。

使用說明

1. 樣品放置：將樣品置于XY平臺，使用傾斜平臺調(diào)平。

2. 模式選擇：通過SensoSCAN軟件一鍵切換共聚焦、干涉或多焦面疊加模式。

3. 參數(shù)設(shè)置：根據(jù)樣品材質(zhì)調(diào)整照明亮度與掃描范圍，支持ISO 25178/4287標(biāo)準(zhǔn)粗糙度測量。

4. 結(jié)果分析：利用SensoVIEW軟件生成2D/3D視圖，實時顯示剖面線高度信息。

5. Sensofar三維共聚焦輪廓儀多技術(shù)表面測量