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澤攸臺階儀:納米級形貌測量的創(chuàng)新之選

產(chǎn)品簡介

澤攸臺階儀:納米級形貌測量的創(chuàng)新之選
在半導(dǎo)體制造、新材料研發(fā)與生物醫(yī)療領(lǐng)域,微觀表面形貌的精準(zhǔn)量化是推動技術(shù)迭代的核心要素。澤攸科技憑借多年技術(shù)沉淀,推出JS系列臺階儀,以模塊化設(shè)計與自主創(chuàng)新技術(shù),為科研與工業(yè)用戶提供高適應(yīng)性的形貌測量解決方案。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2025-08-22
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:58
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澤攸臺階儀:納米級形貌測量的創(chuàng)新之選

在半導(dǎo)體制造、新材料研發(fā)與生物醫(yī)療領(lǐng)域,微觀表面形貌的精準(zhǔn)量化是推動技術(shù)迭代的核心要素。澤攸科技憑借多年技術(shù)沉淀,推出JS系列臺階儀,以模塊化設(shè)計與自主創(chuàng)新技術(shù),為科研與工業(yè)用戶提供高適應(yīng)性的形貌測量解決方案。

產(chǎn)品系列與核心參數(shù)

JS系列涵蓋JS100B、JS200B、JS300B及全自動型號JS2000B,適配不同場景需求:

  • 型號對比

型號適用晶圓尺寸最大測量范圍垂直分辨率重復(fù)性偏差采樣速度
JS100B≤150mm80μm0.05nm≤0.5nm200Hz
JS200B≤200mm80μm0.05nm≤0.5nm200Hz
JS300B≤300mm80μm0.05nm≤0.5nm200Hz
JS2000B全自動80μm0.05nm≤0.5nm動態(tài)優(yōu)化







性能亮點:從硬件到算法的協(xié)同優(yōu)化

  1. 雙LVDT傳感器技術(shù)
    澤攸臺階儀采用自主研發(fā)的直立式雙LVDT傳感器,突破傳統(tǒng)杠桿式結(jié)構(gòu)局限。傳感器1實時監(jiān)測探針壓力(恒力范圍0.5-50mg),傳感器2反饋壓電陶瓷位移,實現(xiàn)“所測即所得"的線性測量,避免圓弧補(bǔ)償誤差。在鈣鈦礦薄膜厚度測量中,該技術(shù)可將35-40nm超薄層的重復(fù)性偏差控制在0.5nm以內(nèi)。

  2. 超平掃描臺與動態(tài)調(diào)焦
    配備納米光柵反饋系統(tǒng)與超光滑平晶導(dǎo)軌,掃描平整度達(dá)20nm/2mm,支持55mm長距離掃描。JS2000B型號集成正視/側(cè)視高像素相機(jī),結(jié)合主動聚焦技術(shù),可在掃描前快速定位樣品測試點,避免離焦導(dǎo)致的邊緣失真,尤其適用于柔性電子器件的曲面掃描。

  3. 多場景探針配置
    提供標(biāo)準(zhǔn)探針(曲率半徑>2μm)與亞微米探針(曲率半徑<1μm)兩種選擇。在MEMS陀螺儀表面波紋測量中,亞微米探針可捕捉曲率半徑≤1μm的微觀結(jié)構(gòu),同時通過動態(tài)力控避免損傷樣品。


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