對(duì)于精密測(cè)量設(shè)備而言，操作的便捷性直接影響工作效率。Sensofar 新型共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀 S neox 在設(shè)計(jì)時(shí)充分考慮了用戶(hù)的操作體驗(yàn)，通過(guò)人性化的軟件與合理的硬件布局，讓復(fù)雜的微觀測(cè)量過(guò)程變得簡(jiǎn)單易上手。
S neox 配備的 SensoSCAN 操作軟件是入門(mén)操作的核心工具，其界面設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔直觀，各功能模塊劃分清晰。剛接觸設(shè)備的用戶(hù)無(wú)需復(fù)雜培訓(xùn)，通過(guò)軟件內(nèi)的引導(dǎo)式操作流程，就能快速完成從樣品放置到數(shù)據(jù)獲取的全過(guò)程。軟件左側(cè)設(shè)有功能菜單欄，包含測(cè)量模式選擇、參數(shù)設(shè)置、圖像采集等常用功能，右側(cè)則為實(shí)時(shí)成像區(qū)域，用戶(hù)可直觀觀察樣品表面的圖像變化。底部的狀態(tài)欄會(huì)實(shí)時(shí)顯示當(dāng)前的操作狀態(tài)，如掃描進(jìn)度、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)路徑等，讓用戶(hù)對(duì)測(cè)量過(guò)程一目了然。
導(dǎo)航預(yù)覽功能是 SensoSCAN 軟件的一大亮點(diǎn)。在進(jìn)行正式測(cè)量前，用戶(hù)只需點(diǎn)擊預(yù)覽按鈕，設(shè)備便會(huì)自動(dòng)對(duì)樣品進(jìn)行大范圍掃描，生成一幅低倍全景圖像。在這幅圖像上，用戶(hù)可以通過(guò)鼠標(biāo)框選想要測(cè)量的區(qū)域，軟件會(huì)自動(dòng)計(jì)算并調(diào)整鏡頭位置，將測(cè)量點(diǎn)精準(zhǔn)移至視野中心。更實(shí)用的是，當(dāng)用戶(hù)切換不同放大倍數(shù)的鏡頭時(shí)，預(yù)覽圖上會(huì)同步顯示當(dāng)前鏡頭的視場(chǎng)范圍與位置，避免因更換鏡頭導(dǎo)致測(cè)量點(diǎn)丟失，大幅減少了定位所需的時(shí)間。
測(cè)量模式的選擇也十分靈活。軟件內(nèi)集成了共聚焦、相位差干涉、白光干涉和多焦面疊加四種測(cè)量模式，用戶(hù)可根據(jù)樣品特性進(jìn)行選擇。例如，測(cè)量光滑的光學(xué)鏡片表面時(shí)，可選用相位差干涉模式，以獲得亞納米級(jí)的縱向分辨率；面對(duì)粗糙的金屬工件表面，則可切換至多焦面疊加模式，快速還原表面形貌。每種模式下的參數(shù)設(shè)置都有默認(rèn)推薦值，新手用戶(hù)可直接使用，若有特殊需求，也可手動(dòng)調(diào)整掃描范圍、分辨率等參數(shù)，參數(shù)調(diào)整過(guò)程中，軟件會(huì)實(shí)時(shí)顯示預(yù)覽效果，方便用戶(hù)判斷設(shè)置是否合適。
數(shù)據(jù)處理與分析功能同樣出色。測(cè)量完成后，軟件會(huì)自動(dòng)生成三維形貌圖，并提供多種數(shù)據(jù)展示方式，如等高線圖、截面線圖等，用戶(hù)可根據(jù)需要選擇。對(duì)于需要量化分析的參數(shù)，如粗糙度 Ra、臺(tái)階高度等，軟件內(nèi)置了符合 ISO 標(biāo)準(zhǔn)的計(jì)算模塊，只需點(diǎn)擊相應(yīng)按鈕，就能自動(dòng)完成計(jì)算并生成報(bào)告。報(bào)告支持導(dǎo)出為 PDF、Excel 等格式，方便數(shù)據(jù)存檔與分享。
針對(duì)批量檢測(cè)場(chǎng)景，S neox 可增配 SensoPRO LT 軟件，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。用戶(hù)只需提前設(shè)置好測(cè)量程序，放入樣品后按下啟動(dòng)按鈕，設(shè)備就會(huì)自動(dòng)完成定位、測(cè)量、數(shù)據(jù)分析等一系列操作，全程無(wú)需人工干預(yù)。該軟件還支持插件式擴(kuò)展，可根據(jù)行業(yè)需求添加專(zhuān)用分析模塊，如針對(duì) LED 行業(yè)的 PSS 分析模塊、針對(duì)半導(dǎo)體封裝的 Bump 分析模塊等，進(jìn)一步提升檢測(cè)效率。
在硬件操作方面，S neox 的樣品臺(tái)采用電動(dòng)控制，通過(guò)軟件上的操縱桿或方向鍵即可實(shí)現(xiàn) X、Y、Z 軸的精確移動(dòng)，移動(dòng)精度可達(dá)微米級(jí)。樣品臺(tái)最大承重為 20kg，放置樣品時(shí)只需將其平穩(wěn)放在臺(tái)面上，通過(guò)兩側(cè)的夾具固定即可，夾具的松緊程度可通過(guò)旋鈕調(diào)節(jié)，適用于不同尺寸的樣品。設(shè)備的鏡頭更換也十分便捷，采用卡扣式設(shè)計(jì)，輕輕旋轉(zhuǎn)即可完成裝卸，更換過(guò)程中軟件會(huì)自動(dòng)識(shí)別鏡頭型號(hào)，并匹配相應(yīng)的參數(shù)設(shè)置。
無(wú)論是科研實(shí)驗(yàn)室的單次精細(xì)測(cè)量，還是生產(chǎn)線上的批量檢測(cè)，S neox 都能通過(guò)便捷的操作流程與強(qiáng)大的軟件功能，幫助用戶(hù)高效完成測(cè)量任務(wù)，讓精密測(cè)量不再?gòu)?fù)雜。
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