ZYGO ZeGage Pro：3D 輪廓檢測新選擇
在精密制造、半導體、光學元件等領域，對物體表面微觀形貌的精準檢測是保障產品質量的關鍵環(huán)節(jié)。ZYGO 推出的 3D 光學輪廓儀 ZeGage Pro，憑借優(yōu)良的光學檢測技術、穩(wěn)定的性能及豐富的功能，為各行業(yè)提供高效的表面輪廓檢測方案，助力用戶深入了解樣品表面的三維特征。
從產品細節(jié)來看，ZYGO ZeGage Pro 采用緊湊式機身設計，整體結構穩(wěn)固，占地面積小，可靈活放置在實驗室或生產車間的檢測區(qū)域。設備搭載高分辨率成像系統(tǒng)，核心光學部件選用高透光率光學玻璃，配合精密的光學鏡頭組，能有效減少光線折射與散射帶來的干擾，確保檢測圖像的清晰度。檢測平臺采用高精度平移臺，臺面材質為耐磨不銹鋼，表面經(jīng)過特殊處理，平整度高，可穩(wěn)定放置不同規(guī)格的樣品，同時平移臺的移動精度高，能精準將樣品送至檢測區(qū)域，保證檢測位置的準確性。
產品性能方面，ZYGO ZeGage Pro 具備出色的檢測分辨率，垂直分辨率可達納米級別，能清晰捕捉樣品表面微小的高低起伏變化，如微米級的劃痕、凸起或凹陷。設備的檢測范圍可根據(jù)需求調整，最小檢測區(qū)域可至幾微米，最大檢測區(qū)域能覆蓋數(shù)毫米，滿足從小尺寸精密元件到較大樣品表面的檢測需求。檢測速度較快，完成一次常規(guī)樣品的 3D 輪廓掃描僅需幾分鐘，大幅縮短檢測周期，提高檢測效率。此外，設備還具備良好的重復性，對同一樣品多次檢測，結果偏差較小，確保檢測數(shù)據(jù)的可靠性。
用材上，除核心光學部件采用高透光率光學玻璃外，設備的機身框架選用高強度鋁合金材料，這種材料不僅重量輕，還具備良好的抗振動性能，能減少外部環(huán)境振動對檢測結果的影響。檢測平臺的不銹鋼臺面耐磨損、抗腐蝕，長期使用后仍能保持較好的平整度，延長設備使用壽命。設備內部的電子元件均選用優(yōu)質品牌產品，確保電路系統(tǒng)的穩(wěn)定運行，降低設備故障概率。
ZYGO ZeGage Pro 的用途廣泛。在半導體行業(yè)，可用于檢測芯片表面的平整度、線路的高度差及缺陷，確保芯片的性能與可靠性；在光學元件制造領域，能檢測透鏡、棱鏡等表面的曲率、面型誤差，保障光學元件的成像質量；在精密模具行業(yè)，可對模具表面的紋理、尺寸精度進行檢測，為模具的加工優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支持；在醫(yī)療設備領域，能檢測醫(yī)療植入體表面的粗糙度，確保其生物相容性與使用安全性。
使用說明方面，以檢測光學透鏡表面面型誤差為例，操作步驟如下：首先，將待檢測的光學透鏡放置在檢測平臺的中心位置，調整樣品固定裝置，確保透鏡穩(wěn)定且不產生變形；然后，打開設備配套的檢測軟件，在軟件界面中設置檢測參數(shù)，如檢測區(qū)域大小、掃描分辨率、檢測速度等，根據(jù)透鏡的尺寸與檢測需求，選擇合適的參數(shù)；接著，啟動檢測程序，設備會自動控制平移臺移動，帶動樣品進行掃描，同時光學系統(tǒng)采集樣品表面的光學信號，并將其轉化為三維輪廓數(shù)據(jù)；檢測完成后，軟件會自動生成 3D 輪廓圖像及相關檢測報告，報告中包含表面粗糙度、面型誤差、曲率半徑等關鍵參數(shù)，用戶可根據(jù)報告分析透鏡表面的質量狀況，判斷是否符合生產標準；最后，關閉檢測程序，取下樣品，清潔檢測平臺，為下一次檢測做好準備。
ZYGO ZeGage Pro 參數(shù)表：
ZYGO 3D 光學輪廓儀 ZeGage Pro 以其精準的檢測能力、穩(wěn)定的性能、優(yōu)質的用材及便捷的操作，成為各行業(yè)表面輪廓檢測的可靠工具，為產品質量控制與研發(fā)創(chuàng)新提供有力的數(shù)據(jù)支持。
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