在科學研究與工業(yè)檢測等領域,對微觀世界的精準觀測和分析至關重要。基恩士 VK-X3000 激光共聚焦顯微鏡,以其出色的性能和豐富的功能,成為眾多科研人員和工程師的得力助手。基恩士VK-X3000激光共聚焦顯微鏡
基恩士 VK-X3000 采用了優(yōu)良的三重掃描方式,融合激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化三種不同的掃描原理。這種獨特的設計,使其能夠根據(jù)樣品工件的材料、形狀和測量范圍,靈活選擇最為適配的掃描方式,進而實現(xiàn)高精度測量。無論是高倍率和低倍率的觀測需求,還是平面、凹凸表面的細微粗糙度檢測,亦或是鏡面體、透明體等特殊材料的測量,VK-X3000 都能應對自如。其測量能力覆蓋范圍極廣,從 1nm 的納米級到 50mm 的較大尺寸,真正做到納米 / 微米 / 毫米一臺即可完成測量。
在探測器模塊方面,它配備了 16BIT 光電倍增器以及面陣探測器彩色 CMOS。其中,超高靈敏度光電倍增器能夠?qū)崿F(xiàn) 16bit 感應,這對于捕捉激光反射并將其轉(zhuǎn)化為高度信息起著關鍵作用,成功地以高分辨率進行感應,可準確讀取反射率不同的復合材料,測量數(shù)據(jù)以 16bit(65536 灰度級)進行處理,以往難以看清的細微的顏色和明暗差異都能如實呈現(xiàn)。
載物臺的設計也十分精巧,XY 軸支持電動運行方式,Z 軸支持電動及手動運行方式,操作便捷。載物臺 X/Y/Z 軸最大行程分別為:100mm@X 軸;100mm@Y 軸;50mm@Z 軸,能夠滿足多種尺寸樣品的測量需求。
光源類型包含 661nm 半導體紅色激光(II 類激光)以及白色 LED 光源。在激光共聚焦模式下,不同物鏡展現(xiàn)出優(yōu)秀的精度表現(xiàn):10X 物鏡高度重復性精度 σ 為 100nm,寬度重復性精度 3σ 為 400nm;20X 物鏡高度重復性精度 σ 為 40nm,寬度重復性精度 3σ 為 100nm;50X 物鏡高度重復性精度 σ 為 20nm,寬度重復性精度 3σ 為 50nm。聚焦變化模式下,5X 物鏡高度重復性精度 σ 為 500nm,寬度重復性精度 3σ 為 400nm;10X 物鏡高度重復性精度 σ 為 100nm,寬度重復性精度 3σ 為 400nm;20X 物鏡高度重復性精度 σ 為 50nm,寬度重復性精度 3σ 為 120nm;50X 物鏡高度重復性精度 σ 為 30nm,寬度重復性精度 3σ 為 65nm。
所配物鏡的數(shù)值孔徑 NA 及工作距離 WD 也各有特點:5X 物鏡,NA≥0.13,WD22.5mm;10X 物鏡,NA≥0.30,WD16.5mm;20X 物鏡,NA≥0.46,WD3.1mm;50X 物鏡,NA≥0.8,WD0.54mm;150X APO 物鏡,NA≥0.95,WD0.2mm;20X 干涉物鏡,WD4.7mm。
在分析功能上,它擁有多達 292 種分析工具,測量軟件不僅能測量高度或尺寸,還能依據(jù)用戶的想法,通過多樣的分析工具實現(xiàn)進一步深入分析。比如在粗糙度分析中,能夠?qū)⑾M私獾谋砻?“差異" 清晰呈現(xiàn),定量化微小形狀,輕松比較多個樣品。
在 3D 顯示方面,支持動態(tài)三維顯示,可進行 XYZ 三軸旋轉(zhuǎn)、前后、左右、上下移動,Z 軸還能實現(xiàn)放縮比例顯示,為用戶提供更直觀的微觀結(jié)構(gòu)展示。報告輸出格式也豐富多樣,支持模板報告模式(JPEG/TIF/BMP)、CSV 格式文件輸出以及 Excel 多文件報告格式輸出,方便用戶根據(jù)需求選擇。還具備多文件分析功能,可在并列顯示多個掃描結(jié)果文件后,針對多個圖像進行一致性分析測量。
基恩士 VK-X3000 激光共聚焦顯微鏡憑借其性能、豐富的功能和便捷的操作,在材料研究、半導體檢測、精密制造等眾多領域都有著廣泛的應用前景,助力各行業(yè)深入探索微觀世界的奧秘。基恩士VK-X3000激光共聚焦顯微鏡