在光學(xué)元件制造領(lǐng)域，透鏡、棱鏡、反射鏡等產(chǎn)品的表面質(zhì)量直接決定了光學(xué)系統(tǒng)的成像效果與性能。哪怕是微米級(jí)的面型誤差或細(xì)微劃痕，都可能導(dǎo)致光線折射、反射異常，影響最終使用體驗(yàn)。Sensofar 新型共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀 S neox，憑借對(duì)微觀表面的精準(zhǔn)捕捉能力與適配光學(xué)元件檢測(cè)的特性，成為光學(xué)元件制造過程中質(zhì)量控制的關(guān)鍵工具，為各類光學(xué)元件的表面檢測(cè)提供可靠支持。
從光學(xué)元件的檢測(cè)核心需求來看，面型誤差、表面粗糙度、曲率精度是三大關(guān)鍵指標(biāo)，且均需達(dá)到納米或微米級(jí)別的檢測(cè)精度。S neox 搭載的 3D 共聚焦白光干涉技術(shù)，恰好能滿足這一嚴(yán)苛要求。其垂直分辨率達(dá)到納米級(jí)別，可清晰識(shí)別光學(xué)元件表面幾納米的高低起伏，精準(zhǔn)測(cè)量面型誤差。以凸透鏡制造為例，在研磨拋光后，通過 S neox 對(duì)透鏡表面進(jìn)行全面掃描，能獲取完整的 3D 輪廓數(shù)據(jù)，計(jì)算出透鏡的面型偏差是否符合設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)，避免因面型不精準(zhǔn)導(dǎo)致的成像模糊、畸變等問題。
針對(duì)不同類型的光學(xué)元件，S neox 的檢測(cè)范圍與適配性表現(xiàn)突出。對(duì)于小尺寸的微型透鏡（如手機(jī)攝像頭中的鏡頭），其最小檢測(cè)區(qū)域可精確至幾微米，能聚焦透鏡中心區(qū)域的細(xì)微結(jié)構(gòu)，測(cè)量邊緣的曲率過渡是否平滑；對(duì)于大尺寸的望遠(yuǎn)鏡反射鏡，檢測(cè)范圍可擴(kuò)展至數(shù)毫米，實(shí)現(xiàn)對(duì)反射鏡表面的全覆蓋掃描，確保整體面型均勻。同時(shí)，設(shè)備配備的多層鍍膜精密鏡頭組，能減少光線在檢測(cè)過程中的反射與散射干擾，尤其適合透明或半透明光學(xué)元件（如石英棱鏡）的檢測(cè)，可清晰呈現(xiàn)元件內(nèi)部是否存在氣泡、雜質(zhì)，以及表面劃痕的深度與長(zhǎng)度，避免傳統(tǒng)檢測(cè)方式中因光線穿透問題導(dǎo)致的缺陷遺漏。
在表面粗糙度檢測(cè)方面，S neox 內(nèi)置的專業(yè)分析算法可精準(zhǔn)計(jì)算 Ra（算術(shù)平均偏差）、Rq（均方根偏差）等參數(shù)，且數(shù)據(jù)重復(fù)性優(yōu)異。光學(xué)元件的表面粗糙度直接影響光線的散射程度，例如激光鏡片若表面粗糙度過高，會(huì)導(dǎo)致激光能量損耗增加，影響激光傳輸效率。通過 S neox 對(duì)鏡片表面進(jìn)行掃描，能快速獲取粗糙度數(shù)據(jù)，判斷拋光工藝是否達(dá)標(biāo)，幫助制造企業(yè)優(yōu)化研磨材料與拋光時(shí)間，提升產(chǎn)品一致性。
從用材與設(shè)備穩(wěn)定性來看，S neox 也適配光學(xué)元件制造的潔凈環(huán)境需求。機(jī)身框架采用高強(qiáng)度鋁合金，重量輕且抗腐蝕，可適應(yīng)潔凈車間定期的無塵清潔，不易因環(huán)境濕度、清潔劑殘留出現(xiàn)部件老化；檢測(cè)平臺(tái)選用不銹鋼材質(zhì)，經(jīng)過精細(xì)打磨，平整度高，能穩(wěn)定承載各類光學(xué)元件，避免因平臺(tái)不平整導(dǎo)致的檢測(cè)誤差。同時(shí)，設(shè)備的抗振動(dòng)設(shè)計(jì)可減少車間內(nèi)其他加工設(shè)備（如研磨機(jī)、切割機(jī)）運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)干擾，確保在多設(shè)備協(xié)同工作的環(huán)境下，檢測(cè)數(shù)據(jù)依然穩(wěn)定可靠。
在實(shí)際操作中，S neox 針對(duì)光學(xué)元件的脆弱特性（易刮花、易破損）設(shè)計(jì)了便捷且安全的檢測(cè)流程。以石英棱鏡表面缺陷檢測(cè)為例，使用說明如下：首先，在潔凈工作臺(tái)上，將棱鏡放置在 S neox 檢測(cè)平臺(tái)的專用軟質(zhì)墊片上（避免金屬臺(tái)面直接接觸棱鏡表面造成劃痕），通過微調(diào)平臺(tái)夾具輕輕固定棱鏡，確保棱鏡在檢測(cè)過程中不位移，且夾具壓力適中不導(dǎo)致棱鏡變形；接著，打開配套檢測(cè)軟件，在 “光學(xué)元件檢測(cè)模板" 中選擇 “棱鏡檢測(cè)" 模式，根據(jù)棱鏡的尺寸（如 10mm×10mm×5mm）設(shè)置檢測(cè)區(qū)域（通常覆蓋棱鏡的兩個(gè)光學(xué)面），并調(diào)整掃描分辨率（針對(duì)表面缺陷檢測(cè)，可選擇較高分辨率以捕捉細(xì)微劃痕）；隨后，點(diǎn)擊 “開始檢測(cè)"，設(shè)備電動(dòng)平移臺(tái)以微米級(jí)精度帶動(dòng)棱鏡移動(dòng)，共聚焦光學(xué)系統(tǒng)同步采集表面光學(xué)信號(hào)，實(shí)時(shí)生成三維輪廓圖像，過程中軟件會(huì)自動(dòng)標(biāo)記疑似缺陷區(qū)域（如劃痕、氣泡）；檢測(cè)完成后，軟件自動(dòng)生成檢測(cè)報(bào)告，包含面型誤差值、表面粗糙度數(shù)據(jù)、缺陷位置與尺寸，用戶可通過 15 英寸高清觸控屏放大查看缺陷細(xì)節(jié)，也可將報(bào)告導(dǎo)出為 PDF 格式，附在產(chǎn)品質(zhì)檢文件中；最后，檢測(cè)結(jié)束后，用無塵布蘸取專用光學(xué)清潔劑輕輕擦拭棱鏡表面與檢測(cè)平臺(tái)，將棱鏡放入專用收納盒，關(guān)閉設(shè)備電源，完成檢測(cè)流程。
S neox 的參數(shù)配置進(jìn)一步貼合光學(xué)元件檢測(cè)需求：檢測(cè)技術(shù)為 3D 共聚焦白光干涉技術(shù)，保障納米級(jí)檢測(cè)精度；檢測(cè)平臺(tái)移動(dòng)精度達(dá)微米級(jí)，滿足光學(xué)元件微小區(qū)域的精準(zhǔn)定位；軟件中的 “曲率計(jì)算" 模塊，可自動(dòng)計(jì)算透鏡、反射鏡的曲率半徑與焦距，無需人工手動(dòng)測(cè)量，減少人為誤差。此外，設(shè)備支持多種光學(xué)元件的檢測(cè)模板存儲(chǔ)，如透鏡、棱鏡、濾光片等，下次檢測(cè)同類型產(chǎn)品時(shí)可直接調(diào)用模板，縮短參數(shù)設(shè)置時(shí)間，提升檢測(cè)效率。
隨著光學(xué)元件向高精度、微型化方向發(fā)展（如 AR/VR 設(shè)備中的微型光學(xué)元件），對(duì)檢測(cè)設(shè)備的要求不斷提升。Sensofar S neox 共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀，以精準(zhǔn)的檢測(cè)能力、靈活的適配性與安全的操作流程，為光學(xué)元件制造企業(yè)提供全流程質(zhì)量控制支持，幫助企業(yè)提升產(chǎn)品合格率，確保光學(xué)元件滿足各類光學(xué)系統(tǒng)的使用需求。
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