布魯克輪廓儀非接觸測(cè)量的“全能型選手"

在精密加工與質(zhì)量控制領(lǐng)域，表面形貌的微小缺陷可能引發(fā)產(chǎn)品性能的顯著波動(dòng)。如何實(shí)現(xiàn)高效、無損的三維測(cè)量？布魯克ContourX-200三維光學(xué)輪廓儀以白光干涉技術(shù)為核心，結(jié)合模塊化設(shè)計(jì)與智能化軟件，為半導(dǎo)體、醫(yī)療、航空航天等行業(yè)提供了一款兼顧精度與易用性的表面計(jì)量工具。

技術(shù)亮點(diǎn)：白光干涉的深度應(yīng)用

ContourX-200采用布魯克的WLI技術(shù)，通過分析干涉條紋的相位變化，實(shí)現(xiàn)垂直方向的亞納米級(jí)分辨率。與傳統(tǒng)共聚焦顯微鏡相比，WLI技術(shù)不受樣品反射率限制，可在0.05%-100%的寬反射率范圍內(nèi)穩(wěn)定工作，尤其適合低反光材料（如碳纖維、未拋光金屬）的測(cè)量。設(shè)備支持全量程閉環(huán)掃描，從0.1nm的微觀起伏到10mm的宏觀臺(tái)階均可連續(xù)測(cè)量，避免拼接誤差，確保數(shù)據(jù)完整性。

硬件配置：模塊化設(shè)計(jì)滿足多樣需求

• 光學(xué)系統(tǒng)：配備2.5X至115X六檔物鏡，支持手動(dòng)或電動(dòng)轉(zhuǎn)塔切換，重復(fù)定位精度≤0.1μm。

• 載物臺(tái)：150mm×150mm電動(dòng)XY平臺(tái)，搭配100mm垂直行程與±6°傾斜功能，可適配曲面樣品與微小零件。

• 光源與成像：雙色LED（白光/綠光）提供穩(wěn)定照明，500萬像素?cái)z像頭支持1200×1000分辨率成像，采樣速率達(dá)37μm/s。

• 防震設(shè)計(jì)：集成主動(dòng)防震臺(tái)與高剛性機(jī)身，有效隔離環(huán)境振動(dòng)，確保測(cè)量穩(wěn)定性。

參數(shù)對(duì)比：技術(shù)指標(biāo)的差異化優(yōu)勢(shì)

軟件功能：從基礎(chǔ)到高階的全覆蓋

• VisionXpress™：簡(jiǎn)化版界面提供一鍵式自動(dòng)測(cè)量、實(shí)時(shí)分析與報(bào)告生成功能，適合快速質(zhì)檢場(chǎng)景。

• Vision64®：支持ISO 25178、ASME B46.1等標(biāo)準(zhǔn)分析，提供200余種粗糙度參數(shù)與3D紋理分析工具，并可定制分析模板。

• 自動(dòng)化擴(kuò)展：通過SDK開發(fā)包與TCP/IP接口，設(shè)備可集成至MES系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量與數(shù)據(jù)追溯。

典型應(yīng)用：跨行業(yè)的解決方案

• 半導(dǎo)體制造：測(cè)量晶圓表面粗糙度與薄膜厚度，監(jiān)控化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）工藝穩(wěn)定性。

• 精密模具：檢測(cè)模具型腔表面缺陷，量化磨損量以優(yōu)化維護(hù)周期。

• 生物醫(yī)療：評(píng)估人工心臟的表面光潔度，確保血液相容性。

• 航空航天：分析渦輪葉片涂層均勻性，預(yù)防高溫腐蝕導(dǎo)致的性能衰減。

操作流程：四步完成高效測(cè)量

1. 樣品固定：將樣品放置于電動(dòng)載物臺(tái)，調(diào)整高度至物鏡工作距離。

2. 參數(shù)設(shè)置：選擇物鏡倍率、測(cè)量模式（2D/3D）與分析標(biāo)準(zhǔn)。

3. 自動(dòng)測(cè)量：?jiǎn)?dòng)一鍵式掃描，設(shè)備自動(dòng)完成對(duì)焦、成像與數(shù)據(jù)分析。

4. 報(bào)告輸出：生成包含粗糙度參數(shù)、形貌圖與趨勢(shì)分析的定制化報(bào)告。

結(jié)語：以技術(shù)沉淀賦能創(chuàng)新，以靈活配置適應(yīng)未來

ContourX-200三維光學(xué)輪廓儀憑借其寬反射率范圍、大掃描量程與智能化軟件，成為表面計(jì)量領(lǐng)域的“多面手"。無論是高校實(shí)驗(yàn)室的前沿探索，還是工業(yè)車間的過程監(jiān)控，它都能以可靠的性能與靈活的配置，助力用戶應(yīng)對(duì)多樣化的測(cè)量挑戰(zhàn)。